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乳液生产原料

TMAH-238 四甲基氢氧化铵水溶液

文字:[大][中][小] 2019/11/12    浏览次数:18506    

技术指标

CAS No.

75-59-2/10424-65-4

化学式

(CH3)4NOH·5H2O

外观

无色透明液体

比重 @ 20

1.021

项目

单位

Min

Max

Assay

%

2.378

2.382

Color

色度

 

5

CO32-     (碳酸根)

ppm

 

80

Cl-       ( 氯化物 )

ppm

 

0.1

CH3OH (甲醇)

ppm

 

40

Li ()

ppb

 

5

Na ()

ppb

 

10

Mg ()

ppb

 

5

Al ()

ppb

 

10

K ()

ppb

 

10

Ca ()

ppb

 

10

Cr ()

ppb

 

5

Mn ()

ppb

 

5

Fe ()

ppb

 

5

Ni ()

ppb

 

5

Co ()

ppb

 

5

Cu ()

ppb

 

5

Zn ()

ppb

 

5

Mo ()

ppb

 

5

Cd ()

ppb

 

5

Pb ()

ppb

 

5

Ag ()

ppb

 

5

质点 >0.5um

Ea/ml

 

100

应用 

硅片生产过程中计算机硅片表面的光亮剂清洁剂和触摸切割剂。
广泛应用于电子工业,特别是作为正阻显影剂、硅片湿法蚀刻剂和CMP工艺的超净溶液也用于制造集成电路、液晶显示器、印刷电路板、电容器、传感器和许多其他电子元件。

包装储存运输 

可提供25kg/桶或200kg/桶
产品应贮存在密闭容器内,避免冷冻及高温,建议正常贮存温度在5℃~40℃
储存期:自交货日期起12个月
可按非危险品运输



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